真空技术氦质谱真空检漏方法

Vacuum technology—Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer

GB/T 36176-2018现行国家标准

标准状态

发布于：2018-05-14

实施于：2018-12-01

废止

标准号GB/T 36176-2018

标准状态现行

发布日期2018-05-14

实施日期2018-12-01

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

主管部门中国机械工业联合会

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国机械工业联合会

起草单位北京卫星环境工程研究所、宁波莱宝真空自动化技术有限公司、沈阳真空技术研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司

起草人王勇、孟冬辉、史纪军、黄文平、任国华、孙伟、张春元、窦仁超、言文静、彭光东、景嘉荣、李斌、孙立臣、闫荣鑫、王国东、胡眉、邵容平、陆鸣、言继春、王功发、孙刚、孙威、王玲玲

本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。