扫描探针显微镜校准规范
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
标准状态
发布于：2012-06-18
实施于：2012-09-18
废止
基本信息
JJF 1351-2012
现行
2012-06-18
2012-09-18
国家质量监督检验检疫总局
全国几何量长度计量技术委员会
JJF1001-2011,GB/T19067.1-2003
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院
朱振宇、任冬梅、傅云霞、李源、吕小洁
标准简介
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。 扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。
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