光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
标准状态
发布于：2013-11-12
实施于：2014-04-15
废止
基本信息
GB/T 29852-2013
现行
2013-11-12
2014-04-15
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
信息产业专用材料质量监督检验中心、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司
马农农、何友琴、冯亚彬、裴会川、王东雪、何秀坤
标准简介
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。
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