离子束蚀刻机通用技术条件

Generic specification of ion beam etching system

GB/T 15861-1995已废止国家标准

标准状态

发布于：1995-12-22

实施于：1996-08-01

已废止

标准号GB/T 15861-1995

标准状态已废止

发布日期1995-12-22

实施日期1996-08-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位电子部长沙半导体工艺设备所

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。