电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method

GB/T 34972-2017现行国家标准

标准状态

发布于：2017-11-01

实施于：2018-02-01

废止

标准号GB/T 34972-2017

标准状态现行

发布日期2017-11-01

实施日期2018-02-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.040.40 化学分析

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位上海市计量测试技术研究院、高麦仪器公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司

起草人陈鹰、姜阳、傅铸红、杜汉盛、方华、常侠、周鹏云、牛艳东、江罗、许军洲

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。