硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法

YS/T 1060-2015现行行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

废止

标准号YS/T 1060-2015

标准状态现行

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040.30 金属材料化学分析

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

起草单位中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人刘新军、刘英杰、郑华荣等

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。