洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求
Cleanrooms and associated controlled environments—Technical requirements for microvibration control
标准状态
发布于:2026-04-30
实施于:2026-11-01
废止
基本信息
GB/T 47506-2026
现行
2026-04-30
2026-11-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
Cleanrooms and associated controlled environments—Technical requirements for microvibration control