半导体用多级罗茨干式真空泵
Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor
标准状态
发布于：2024-01-01
实施于：2024-01-01
废止
基本信息
T/STIC 110096-2024
现行
2024-01-01
2024-01-01
上海市检验检测认证协会
上海市检验检测认证协会
上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有限公司、上海市检验检测认证协会。
付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张毅。
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