多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

YS/T 983-2014已废止行业标准

标准状态

发布于：2014-10-14

实施于：2015-04-01

已废止

标准号YS/T 983-2014

标准状态已废止

发布日期2014-10-14

实施日期2015-04-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

起草单位四川新光硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司等

起草人敖细平、王波等

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。