半导体设备电源接口
Power supply interface for semiconductor equipment
标准状态
发布于：2013-12-17
实施于：2014-05-15
废止
基本信息
GB/T 15872-2013
现行
2013-12-17
2014-05-15
工业和信息化部（电子）
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
工业和信息化部（电子）
GB/T 15872-1995
中国人民解放军空军雷达学院、工业和信息化部电子工业标准化研究院
朱忠尼、亓迎川、梅昌义、祁承超
标准简介
本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别,选择电器附件、导线和电缆的要求等。 本标准适用于半导体设备的电源接口。
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