真空技术 质谱检漏仪校准
Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration
标准状态
发布于：2000-09-26
实施于：2001-02-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。 本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。 本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10Pa·m·s漏率漏孔限制。 本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
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