异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-2015现行行业标准

标准状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

废止

标准号YS/T 14-2015

标准状态现行

发布日期2015-04-30

实施日期2015-10-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

代替标准YS/T 14-1991

起草单位南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人马林宝、杨帆、葛华等

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。