磷化铟单晶
Indium phosphide single crystal
标准状态
发布于：2022-03-09
实施于：2022-10-01
废止
基本信息
GB/T 20230-2022
现行
2022-03-09
2022-10-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 20230-2006
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导微电子科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、云南鑫耀半导体材料有限公司、有研国晶辉新材料有限公司
孙聂枫、李晓岚、惠峰、李素青、邵会民、周铁军、王博、张晓丹、王阳、刘惠生、朱刘、王书杰、史艳磊、付莉杰、姜剑、王宇
标准简介
本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。 本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。
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