氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate

T/ZSA 231-2024现行团体标准

标准状态

发布于：2024-05-15

实施于：2024-05-16

废止

标准号T/ZSA 231-2024

标准状态现行

发布日期2024-05-15

实施日期2024-05-16

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门中关村标准化协会

团体名称中关村标准化协会

起草单位中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司。

起草人李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋。

本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。