半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

GB/T 15872-1995已废止国家标准

标准状态

发布于：1995-12-22

实施于：1996-08-01

已废止

标准号GB/T 15872-1995

标准状态已废止

发布日期1995-12-22

实施日期1996-08-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号31.220.10 插头和插座装置、连接器

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位中国华晶电子集团公司

本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别，选择电源接插件、导线和电缆的要求。本标准适用于半导体设备的电源接口。