电子材料晶片参考面长度测量方法

Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

GB/T 13387-1992已废止国家标准

标准状态

发布于：1992-02-19

实施于：1992-10-01

已废止

标准号GB/T 13387-1992

标准状态已废止

发布日期1992-02-19

实施日期1992-10-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位北京有色金属研究总院