23.160 真空技术
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| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 2965-1992 | 溅射离子泵 性能测试方法 | 已废止 | 1992-12-24 | 1993-07-01 |
| JB/T 4082-1991 | 溅射离子泵 技术条件 | 已废止 | 1991-07-22 | 1992-07-01 |
| JB/T 5410-1991 | 低真空电磁压差充气阀 型式与 | 已废止 | 1991-07-22 | 1992-07-01 |
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 2965-1992 | 溅射离子泵 性能测试方法 | 已废止 | 1992-12-24 | 1993-07-01 |
| JB/T 4082-1991 | 溅射离子泵 技术条件 | 已废止 | 1991-07-22 | 1992-07-01 |
| JB/T 5410-1991 | 低真空电磁压差充气阀 型式与 | 已废止 | 1991-07-22 | 1992-07-01 |