光学和光子学微透镜阵列第2部分：波前像差的测试方法

Optics and photonics—Microlens array—Part 2:Test methods for wavefront aberrations

GB/T 41869.2-2022现行国家标准

标准状态

发布于：2022-10-14

实施于：2023-05-01

废止

标准号GB/T 41869.2-2022

标准状态现行

发布日期2022-10-14

实施日期2023-05-01

中国标准分类号L51 激光器件

国际标准分类号31.260 光电子学、激光设备

主管部门中国机械工业联合会

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口中国机械工业联合会

提出单位中国机械工业联合会

起草单位中国兵器工业标准化研究所、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、西安西谷微电子有限责任公司、上海瑞立柯信息技术有限公司、电子科技大学、南京迈得特光学有限公司、浙江伟星光学有限公司

起草人孟凡萍、朱懿、姜绪木、王金玉、汪瑶、李斌成、张卫国、杨宏杰、汪松

本文件描述了微透镜阵列中微透镜波前像差测试的测试装置及设备、测试前准备、测试原理及测试程序等内容。本文件适用于在共同基底的内部或一个或多个表面上形成的由非常小的透镜组成的微透镜阵列的波前像差测试。