300mm半导体设备装载端口要求

Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment

GB/T 44375-2024现行国家标准

标准状态

发布于：2024-08-23

实施于：2025-03-01

废止

标准号GB/T 44375-2024

标准状态现行

发布日期2024-08-23

实施日期2025-03-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号31.260 光电子学、激光设备

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委