4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
The Metallographs Collection for Defects in both 4H-SiC Substrates and Epilayers
标准状态
发布于：2018-11-20
实施于：2018-11-20
废止
基本信息
T/CASAS 004.2-2018
现行
2018-11-20
2018-11-20
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
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孙国胜、杨霏、柏松、许恒宇、李诚瞻、高玉强、冯淦、胡小波、张乐年、房玉龙
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