阻焊制程激光直写式光刻设备

Laser direct writing lithography equipment for solder mask process

T/ZZB 3949-2025现行团体标准

标准状态

发布于：2025-12-20

实施于：2025-12-31

废止

标准号T/ZZB 3949-2025

标准状态现行

发布日期2025-12-20

实施日期2025-12-31

国际标准分类号31.260 光电子学、激光设备

发布部门浙江省质量协会

团体名称浙江省质量协会

起草单位杭州欣俊哲微纳科技有限公司、安吉欣俊哲精密科技有限公司、浙江省质量科学研究院、河南百合特种光学研究院有限公司、杭州欣俊哲光学有限公司、杭州欣俊哲视觉科技有限公司、杭州新诺微电子有限公司、西安电子科技大学杭州研究院、杭州电子科技大学、东莞塘厦裕华电路板有限公司。

起草人焦克北、陈泽瑞、王阔、王鹏、余子英、方骁远、钟迪、周文晖、黄康华。