集成电路主要工艺设备术语

SJ/T 10152-1991已废止行业标准

标准状态

发布于：1991-04-02

实施于：1991-07-01

已废止

标准号SJ/T 10152-1991

标准状态已废止

发布日期1991-04-02

实施日期1991-07-01

中国标准分类号L56 半导体集成电路

国际标准分类号31.550

发布部门电子工业部

本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。