半导体设备隔振系统设计及技术要求
Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments
标准状态
发布于：2024-04-18
实施于：2024-04-18
废止
基本信息
T/CI 334-2024
现行
2024-04-18
2024-04-18
中国国际科技促进会
中国国际科技促进会
上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司
陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀
标准简介
本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。
内容预览
