i线光刻级氟化钙晶体
标准状态
发布于：2026-07-15
实施于：2027-02-01
废止
基本信息
JC/T 3080-2026
即将实施
2026-07-15
2027-02-01
工业和信息化部
全国人工晶体标准化技术委员会
中国科学院上海硅酸盐研究所、上海德硅凯氟光电科技有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、上海现代先进超精密制造中心有限公司、中材人工晶体研究院有限公司
苏良碧、刘荣荣、张博、姜大朋、寇华敏、吴庆辉、张中晗、唐飞、王静雅、钱小波、贾健、侯宝路、李运峰、吴永庆、陈建荣
标准简介
本文件规定了i线光刻级氟化钙晶体的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。 本文件适用于i线光刻级氟化钙晶体。