相变存储器电性能测试方法

Measurement methods for electrical properties of phase change memory

T/CSTM 01003-2023现行团体标准

标准状态

发布于：2023-03-07

实施于：2023-06-07

废止

标准号T/CSTM 01003-2023

标准状态现行

发布日期2023-03-07

实施日期2023-06-07

中国标准分类号L56 半导体集成电路

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

发布部门中关村材料试验技术联盟

团体名称中关村材料试验技术联盟

起草单位华中科技大学、长江存储科技有限责任公司、中国计量科学研究院、中国电子技术标准化研究院

起草人缪向水、何强、童浩、程晓敏、刘峻、李硕、任玲玲、李锟

本文件规定了相变存储单元器件的电性能测试方法，分为器件性能测试和器件可靠性测试，器件性能测试包括电流-电压特性、存储窗口、置位时间、置位电压、复位时间、复位电压、功耗；器件可靠性测试包括耐久性和数据保持时间。本文件适用于相变存储单元器件（以下简称器件）。