C3562 半导体器件专用设备制造
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| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CI 961-2025 | 半导体设备用碳化硅陶瓷零部件 | 现行 | 2025-04-15 | 2025-04-15 |
| T/SZBSIA 004-2025 | LED 固晶机技术规范 | 现行 | 2025-12-02 | 2025-12-02 |
| T/SZBSIA 005-2025 | LED 固晶机检测规范 | 现行 | 2025-12-02 | 2025-12-02 |
| T/ZZB 3949-2025 | 阻焊制程激光直写式光刻设备 | 现行 | 2025-12-20 | 2025-12-31 |