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C3976 光电子器件制造

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标准号标准名称状态发布日期 实施日期
T/CSCP 0059.1-2025微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求现行2025-09-012025-10-01
T/CSCP 0059.2-2025微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第2部分：选材与评价现行2025-09-012025-10-01
T/CSCP 0059.5-2025微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试现行2025-09-012025-10-01
T/CSCP 0059.4-2025微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第4部分：元器件选型及测试现行2025-09-012025-10-01
T/CSCP 0059.3-2025微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法现行2025-09-012025-10-01

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