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J78 真空技术与设备

收录 144 项
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标准号标准名称状态发布日期 实施日期
GB/Z 42625-2023真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性现行2023-05-232023-05-23
T/ZZB 3104-2023带式干燥机现行2023-06-302023-07-30
T/STIC 110096-2024半导体用多级罗茨干式真空泵现行2024-01-012024-01-01
GB/T 43916-2024真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度现行2024-04-252024-04-25
GB/T 40344.3-2024真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数现行2024-04-252024-04-25
T/QGCML 4176-2024具有旋转机构连续镀膜设备现行2024-04-302024-05-14
T/ZZB 3749-2024多级罗茨干式真空泵现行2024-07-052024-08-05
T/GVS 014-2024半导体设备用低温泵评价规范现行2024-08-022024-08-02
GB/T 3163-2024真空技术 术语现行2024-09-292024-09-29
T/GVS 017-2024连续式光学磁控溅射镀膜设备现行2024-12-242024-12-24
JB/T 15238-2025真空技术 金属粉末注射成型真空脱脂炉现行2025-07-022026-02-01
JB/T 11716-2025螺杆型干式真空泵现行2025-07-022026-02-01
JB/T 6446-2025真空阀门现行2025-07-022026-02-01
JB/T 15237-2025真空技术 超级电容器真空干燥设备现行2025-07-022026-02-01
JB/T 14960-2025真空干燥设备系统能效限定值及能效等级现行2025-07-022026-02-01
GB/T 45856-2025真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度现行2025-08-012026-05-26
GB/T 40344.4-2025真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵现行2025-08-012026-05-26
GB/T 46081-2025真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度现行2025-08-292025-08-29
GB/T 6070-2025真空技术 非刀口法兰尺寸现行2025-10-312026-02-01
GB/T 4982-2025真空技术 夹紧型快卸连接器尺寸现行2025-10-312026-02-01

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