H17 半金属及半导体材料分析方法

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
DB53/T 749-2016	工业硅粉水分的测定红外加热法	已废止	2016-03-10	2016-06-01
YS/T 1107-2016	羧乙基锗倍半氧化物化学分析方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
YS/T 1165-2016	高纯四氯化锗中铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2016-07-11	2017-01-01
DB53/T 796-2016	富锡渣中铟含量的测定原子吸收光谱法	已废止	2016-09-10	2016-12-01
DB15/T 1243-2017	树脂中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1240-2017	硅粉中铁、铝、钙、钛、硼、磷含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1239-2017	多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1241-2017	硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定气相色谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1242-2017	氯硅烷中六氯硅氧烷含量的测定气相色谱—质谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
GB/T 34504-2017	蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法	已废止	2017-10-14	2018-05-01
GB/T 35309-2017	用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程	现行	2017-12-29	2018-07-01
GB/T 35306-2017	硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法	已废止	2017-12-29	2018-07-01
GB/T 1557-2018	硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法	现行	2018-09-17	2019-06-01
GB/T 4060-2018	硅多晶真空区熔基硼检验方法	现行	2018-09-17	2019-06-01
YS/T 37.2-2018	高纯二氧化锗化学分析方法钼蓝分光光度法测定硅量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.3-2018	高纯二氧化锗化学分析方法石墨炉原子吸收光谱法测定砷量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.1-2018	高纯二氧化锗化学分析方法硝酸银比浊法测定氯量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 1290-2018	多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.5-2018	高纯二氧化锗化学分析方法石墨炉原子吸收光谱法测定铁量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.4-2018	高纯二氧化锗化学分析方法电感耦合等离子体质谱法测定镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷量	现行	2018-10-22	2019-04-01