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H17 半金属及半导体材料分析方法

收录 151 项
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标准号标准名称状态发布日期 实施日期
YS/T 1863.1-2026硅多晶用硅粉理化性能的测定 第1部分：有效硅含量的测定 重量法现行2026-04-152026-11-01
YS/T 1864-2026流化床法颗粒硅表面金属含量的测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法现行2026-04-152026-11-01
YS/T 1863.2-2026硅多晶用硅粉理化性能的测定 第2部分： 浊度的测定 散射光法现行2026-04-152026-11-01
GB/T 47089-2026蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法现行2026-01-282026-08-01
GB/T 47081-2026氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法现行2026-01-282026-08-01
GB/T 47080-2026金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法现行2026-01-282026-08-01
GB/T 47082-2026碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法现行2026-01-282026-08-01
GB/T 11073-2025硅片径向电阻率变化测量方法现行2025-10-312026-05-01
GB/T 4326-2025非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法现行2025-10-312026-05-01
GB/T 29056-2025硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2025-10-312026-05-01
GB/T 14140-2025半导体晶片直径测试方法现行2025-08-012026-02-01
YS/T 1755-2025颗粒硅总金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2025-04-102025-11-01
YS/T 1740-2025电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法现行2025-04-102025-11-01
YS/T 1747-2025硅材料中氢含量的测定 惰性气体熔融热导法现行2025-04-102025-11-01
YS/T 1754-2025颗粒硅表面粉尘的测定 浊度法现行2025-04-102025-11-01
YS/T 1768-2025硅多晶生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体光谱法现行2025-04-102025-11-01
YS/T 526-2025镍硼硅系自熔合金粉现行2025-04-102025-11-01
YS/T 1703-2024晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法现行2024-10-242025-05-01
YS/T 981.1-2024高纯铟化学分析方法 第1部分：痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法现行2024-10-242025-05-01
YS/T 983-2024硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法现行2024-10-242025-05-01

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