H17 半金属及半导体材料分析方法

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 35306-2017	硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法	已废止	2017-12-29	2018-07-01
GB/T 34504-2017	蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法	已废止	2017-10-14	2018-05-01
DB15/T 1243-2017	树脂中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1240-2017	硅粉中铁、铝、钙、钛、硼、磷含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1239-2017	多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1241-2017	硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定气相色谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1242-2017	氯硅烷中六氯硅氧烷含量的测定气相色谱—质谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB53/T 796-2016	富锡渣中铟含量的测定原子吸收光谱法	已废止	2016-09-10	2016-12-01
YS/T 1165-2016	高纯四氯化锗中铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2016-07-11	2017-01-01
YS/T 1107-2016	羧乙基锗倍半氧化物化学分析方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
DB53/T 749-2016	工业硅粉水分的测定红外加热法	已废止	2016-03-10	2016-06-01
GB/T 32281-2015	太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法	现行	2015-12-10	2017-01-01
GB/T 24578-2015	硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法	已废止	2015-12-10	2017-01-01
GB/T 19199-2015	半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法	现行	2015-12-10	2016-07-01
GB/T 32277-2015	硅的仪器中子活化分析测试方法	现行	2015-12-10	2017-01-01
GB/T 17170-2015	半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法	现行	2015-12-10	2016-07-01
DB53/T 728-2015	锌物料中铟含量的测定原子吸收分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
DB53/T 729-2015	锌物料中锗含量的测定分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
YS/T 1060-2015	硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法	现行	2015-04-30	2015-10-01
YS/T 1059-2015	硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法	现行	2015-04-30	2015-10-01