J78 真空技术与设备

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
JB/T 8946-2010	真空离子镀膜设备	现行	2010-02-21	2010-07-01
JB/T 8945-2010	真空溅射镀膜设备	现行	2010-02-21	2010-07-01
GB/T 25753.1-2010	真空技术罗茨真空泵性能测量方法第1部分：最大允许压差的测量	已废止	2010-12-23	2011-10-01
GB/T 25754-2010	真空技术直角阀尺寸和气动装置的接口	现行	2010-12-23	2011-10-01
GB/T 25752-2010	差压式气密检漏仪	现行	2010-12-23	2011-10-01
GB/T 25755-2010	真空技术溅射离子泵性能参数的测量	现行	2010-12-23	2011-10-01
GB/T 25753.2-2010	真空技术罗茨真空泵性能测量方法第2部分：零流量压缩比的测量	已废止	2010-12-23	2011-10-01
GB/T 16709.1-2010	真空技术管路配件的装配尺寸第1部分：非刀口法兰型	现行	2010-12-23	2011-10-01
GB/Z 25756-2010	真空技术可烘烤法兰刀口法兰尺寸	现行	2010-12-23	2011-10-01
GB/T 16709.2-2010	真空技术管路配件的装配尺寸第2部分：刀口法兰型	现行	2010-12-23	2011-10-01
JB/T 11081-2011	真空技术制冷机低温泵	现行	2011-08-15	2011-11-01
JB/T 11080-2011	真空技术涡旋干式真空泵	现行	2011-08-15	2011-11-01
GB/T 11164-2011	真空镀膜设备通用技术条件	现行	2011-11-21	2012-03-01
GB/T 25753.3-2011	真空技术罗茨真空泵性能测量方法第3部分：溢流阀压差的测量	已废止	2011-11-21	2012-03-01
JB/T 11238-2011	真空技术液环真空泵效率	现行	2011-12-20	2012-04-01
JB/T 11237-2011	真空技术多级罗茨干式真空泵	现行	2011-12-20	2012-04-01
JB/T 8107-2011	容积真空泵振动测量方法	现行	2011-12-20	2012-04-01
JB/T 7673-2011	真空技术真空设备型号编制方法	现行	2011-12-20	2012-04-01
JB/T 4081-2011	真空技术溅射离子泵	现行	2011-12-20	2012-04-01
JB/T 10176-2012	旋转闪蒸干燥机	现行	2012-05-24	2012-11-01