L95 电子工业生产设备综合
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| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11183-2022 | 匀胶设备通用规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11823-2022 | 集成电路塑封油压机 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11829.1-2022 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式 PECVD 设备 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11830-2022 | 晶体硅光伏电池智能制造 数据采集指南 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11829.2-2022 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式 PECVD 设备 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11855-2022 | 光伏用紫外老化试验箱辐照性能测试方法 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 31411-1994 | 换热器完好要求和检查评定方法 | 现行 | 2023-01-23 | 2023-01-23 |
| SJ/T 11889-2023 | 锂离子电池用辊压机 | 现行 | 2023-05-22 | 2023-08-01 |
| T/CPIA 0059-2024 | 晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备 | 现行 | 2024-03-10 | 2024-03-15 |
| T/ZSA 224-2024 | 半导体设备前端模块 | 现行 | 2024-04-12 | 2024-04-13 |
| T/ZJCX 0049-2024 | 碳化硅衬底激光剥离设备 | 现行 | 2024-12-24 | 2024-12-25 |
| SJ/T 12024-2025 | 半导体设备 集成电路制造 用离子注入机测试方法 | 现行 | 2025-09-09 | 2026-03-01 |
| SJ/T 12023-2025 | 半导体设备 集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法 | 现行 | 2025-09-09 | 2026-03-01 |
| DB13/T 6237-2025 | 引线键合台超声单元在线调校一般要求 | 现行 | 2025-12-16 | 2026-01-16 |