23.160 真空技术

收录 188 项

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 40344.3-2024	真空技术真空泵性能测量标准方法第3部分：机械增压泵的特定参数	现行	2024-04-25	2024-04-25
T/STIC 110096-2024	半导体用多级罗茨干式真空泵	现行	2024-01-01	2024-01-01
T/ZZB 3104-2023	带式干燥机	现行	2023-06-30	2023-07-30
GB/T 42604-2023	真空技术真空计热阴极电离真空计规范	现行	2023-05-23	2023-05-23
GB/Z 42624-2023	真空技术真空计放气率的测试和报告程序	现行	2023-05-23	2023-05-23
GB/Z 42625-2023	真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性	现行	2023-05-23	2023-05-23
T/GVS 010-2022	真空卷绕镀膜设备通用技术要求	现行	2022-09-23	2022-09-23
T/CIE 132-2022	磁控溅射设备薄膜精度测试方	现行	2022-08-10	2022-08-10
T/GVS 005-2022	半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范	现行	2022-03-28	2022-03-28
T/CCGA 50008-2021	医用真空机组	现行	2021-09-28	2021-10-28
GB/T 40344.1-2021	真空技术真空泵性能测量标准方法第1部分：总体要求	现行	2021-08-20	2022-03-01
GB/T 40344.2-2021	真空技术真空泵性能测量标准方法第2部分：容积真空泵	现行	2021-08-20	2022-03-01
T/GVS 001-2021	真空镀膜设备电磁兼容屏蔽与辐射安全技术规范	现行	2021-06-28	2021-06-28
T/GVS 002-2021	高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求	现行	2021-06-28	2021-06-28
T/GVS 003-2021	真空表面处理工艺用离子源	现行	2021-06-28	2021-06-28
GB/T 40333-2021	真空计四极质谱仪的定义与规范	现行	2021-05-21	2021-12-01
T/ZZB 2103-2021	变螺距螺杆型干式真空泵	现行	2021-04-24	2021-05-01
T/ZZB 1790-2020	铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备	现行	2020-11-06	2020-11-30
JB/T 1246-2019	真空技术滑阀真空泵	现行	2019-08-27	2020-04-01
JB/T 8944-2019	单级旋片真空泵	现行	2019-08-27	2020-04-01