H17 半金属及半导体材料分析方法

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 35306-2017	硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法	已废止	2017-12-29	2018-07-01
GB/T 34504-2017	蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法	已废止	2017-10-14	2018-05-01
DB15/T 1243-2017	树脂中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1240-2017	硅粉中铁、铝、钙、钛、硼、磷含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1239-2017	多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1241-2017	硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定气相色谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB15/T 1242-2017	氯硅烷中六氯硅氧烷含量的测定气相色谱—质谱法	已废止	2017-09-10	2017-12-10
DB53/T 796-2016	富锡渣中铟含量的测定原子吸收光谱法	已废止	2016-09-10	2016-12-01
DB53/T 749-2016	工业硅粉水分的测定红外加热法	已废止	2016-03-10	2016-06-01
GB/T 24578-2015	硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法	已废止	2015-12-10	2017-01-01
DB53/T 728-2015	锌物料中铟含量的测定原子吸收分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
DB53/T 729-2015	锌物料中锗含量的测定分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
YS/T 983-2014	多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法	已废止	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 981.1-2014	高纯铟化学分析方法镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、锡、铊、铅的测定高质量分辨率辉光放电质谱法	已废止	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 987-2014	氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定	已废止	2014-10-14	2015-04-01
GB/T 14849.4-2008	工业硅化学分析方法第4部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法测定元素含量（内容不全）	已废止	2008-06-09	2008-12-01
GB/T 4060-2007	硅多晶真空区熔基硼检验方法	已废止	2007-09-11	2008-02-01
GB/T 11073-2007	硅片径向电阻率变化的测量方法	已废止	2007-09-11	2008-02-01
GB/T 4059-2007	硅多晶气氛区熔基磷检验方法	已废止	2007-09-11	2008-02-01
GB/T 8760-2006	砷化镓单晶位错密度的测量方法	已废止	2006-07-18	2006-11-01