H82 元素半导体材料

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
T/NXCL 017-2022	300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片	现行	2022-12-02	2022-12-02
GB/T 41652-2022	刻蚀机用硅电极及硅环	现行	2022-07-11	2023-02-01
T/ZZB 2675-2022	TVS用硅单晶研磨片	现行	2022-04-13	2022-05-13
T/CPIA 0037-2022	光伏晶体硅片规范	现行	2022-03-30	2022-04-15
GB/T 41325-2022	集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片	现行	2022-03-09	2022-10-01
GB/T 26069-2022	硅单晶退火片	现行	2022-03-09	2022-10-01
YS/T 1510-2021	高纯锗粉	现行	2021-12-02	2022-04-01
GB/T 40566-2021	流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法	现行	2021-10-11	2022-05-01
GB/T 40561-2021	光伏硅材料氧含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法	现行	2021-10-11	2022-05-01
DB13/T 5118-2019	4H 碳化硅 N 型同质外延片通用技术要求	已废止	2019-11-28	2019-12-28
T/ZZB 1389-2019	单晶硅光伏电池	现行	2019-11-27	2019-12-31
GB/T 5238-2019	锗单晶和锗单晶片	现行	2019-06-04	2020-05-01
GB/T 29054-2019	太阳能电池用铸造多晶硅块	现行	2019-06-04	2020-05-01
GB/T 14139-2019	硅外延片	现行	2019-06-04	2020-05-01
GB/T 29055-2019	太阳能电池用多晶硅片	现行	2019-06-04	2020-05-01
T/ZZB 0648-2018	200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片	现行	2018-10-19	2018-11-01
GB/T 26071-2018	太阳能电池用硅单晶片	已废止	2018-09-17	2019-06-01
GB/T 12965-2018	硅单晶切割片和研磨片	现行	2018-09-17	2019-06-01
GB/T 25076-2018	太阳能电池用硅单晶	已废止	2018-09-17	2019-06-01
GB/T 12964-2018	硅单晶抛光片	现行	2018-09-17	2019-06-01