L97 加工专用设备

收录 48 项

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
T/WLJC 58-2019	晶片精密研磨盘用修正轮	现行	2019-04-22	2019-04-22
T/WLJC 59-2019	石英晶片倒边波形筒	现行	2019-04-22	2019-04-22
CB 30034-2018	军工大数据系统通用要求	现行	2018-12-28	2019-03-01
GB/T 15862-2012	离子注入机通用规范	现行	2012-11-05	2013-02-15
GB/T 15861-2012	离子束蚀刻机通用规范	现行	2012-11-05	2013-02-15
SJ/T 211.6-1999	电子工业专用设备设计文件第6部分：设计文件的更改	现行	1999-08-26	1999-12-01
SJ/T 11185-1998	蒸发镀膜设备通用规范	现行	1998-03-11	1998-05-01
SJ/T 11183-1998	匀胶设备通用规范	现行	1998-03-11	1998-05-01
SJ/T 11182-1998	磁性材料湿压成型设备通用规范	现行	1998-03-11	1998-05-01
SJ/T 11184-1998	显影设备通用规范	现行	1998-03-11	1998-05-01
GB/T 16878-1997	用于集成电路制造技术的检测图形单元规范	现行	1997-06-20	1998-03-01
GB/T 16880-1997	光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则	现行	1997-06-20	1998-03-01
GB/T 16879-1997	掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则	现行	1997-06-20	1998-03-01
GB/T 15873-1995	半导体设施接口技术文件编写导则	现行	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 15870-1995	硬面光掩模用铬薄膜	现行	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 15871-1995	硬面光掩模基板	现行	1995-12-22	1996-08-01
SJ/T 10671-1995	精密丝网印刷机通用规范	现行	1995-08-18	1996-01-01
GB/T 15394-1994	多探针测试台通用技术条件	现行	1994-12-28	1995-08-01
SJ/T 10515.5-1994	塑封模具结构注塑结构	现行	1994-04-11	1994-10-01
SJ/T 10515.4-1994	塑封模具结构导向结构	现行	1994-04-11	1994-10-01