H17 半金属及半导体材料分析方法

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
YS/T 34.2-2011	高纯砷化学分析方法极谱法测定硒量标准	现行	2011-12-20	2012-07-01
YS/T 983-2014	多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法	已废止	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 981.2-2014	高纯铟化学分析方法镁、铝、铁、镍、铜、锌、银、镉、锡、铅的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 981.1-2014	高纯铟化学分析方法镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、锡、铊、铅的测定高质量分辨率辉光放电质谱法	已废止	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 980-2014	高纯三氧化二镓杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 981.5-2014	高纯铟化学分析方法铊量的测定罗丹明B吸光光度法	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 981.3-2014	高纯铟化学分析方法硅量的测定硅钼蓝分光光度法	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 981.4-2014	高纯铟化学分析方法锡量的测定苯芴酮-溴代十六烷基三甲胺吸光光度法	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 987-2014	氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定	已废止	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 984-2014	硅粉化学分析方法硼、磷含量的测定	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 1060-2015	硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法	现行	2015-04-30	2015-10-01
YS/T 1059-2015	硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法	现行	2015-04-30	2015-10-01
YS/T 1086-2015	高纯锑化学分析方法镁、锰、铁、镍、铜、锌、砷、硒、银、镉、金、铅、铋量的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2015-04-30	2015-10-01
DB53/T 728-2015	锌物料中铟含量的测定原子吸收分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
DB53/T 729-2015	锌物料中锗含量的测定分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
GB/T 32281-2015	太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法	现行	2015-12-10	2017-01-01
GB/T 24578-2015	硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法	已废止	2015-12-10	2017-01-01
GB/T 19199-2015	半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法	现行	2015-12-10	2016-07-01
GB/T 32277-2015	硅的仪器中子活化分析测试方法	现行	2015-12-10	2017-01-01
GB/T 17170-2015	半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法	现行	2015-12-10	2016-07-01