H17 半金属及半导体材料分析方法

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 37211.1-2018	金属锗化学分析方法第1部分：砷含量的测定砷斑法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 37049-2018	电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2018-12-28	2019-04-01
GB/T 37211.2-2018	金属锗化学分析方法第2部分：铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 4059-2018	硅多晶气氛区熔基磷检验方法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 37385-2019	硅中氯离子含量的测定离子色谱法	现行	2019-03-25	2020-02-01
YS/T 1301-2019	氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定气相色谱质谱联用法	现行	2019-08-02	2020-01-01
YS/T 1300-2019	氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法	现行	2019-08-02	2020-01-01
GB/T 14849.3-2020	工业硅化学分析方法第3部分：钙含量的测定	现行	2020-03-06	2021-02-01
GB/T 14849.1-2020	工业硅化学分析方法第1部分：铁含量的测定	现行	2020-03-06	2021-02-01
GB/T 38976-2020	硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法	现行	2020-07-21	2021-06-01
GB/T 39145-2020	硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2020-10-11	2021-09-01
GB/T 39144-2020	氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法	现行	2020-10-11	2021-09-01
YS/T 1392-2020	氯硅烷组分含量的测定气相色谱法	现行	2020-12-09	2021-04-01
YS/T 1434-2021	六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法	现行	2021-12-02	2022-04-01
YS/T 1509.2-2021	硅碳复合负极材料化学分析方法第2部分：碳含量的测定高频加热红外吸收法	现行	2021-12-02	2022-04-01
YS/T 1509.3-2021	硅碳复合负极材料化学分析方法第3部分：铁、镍、锆、钙、铅、铝、铪含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法	现行	2021-12-02	2022-04-01
YS/T 1509.1-2021	硅碳复合负极材料化学分析方法第1部分：硅含量的测定重量法和分光光度法	现行	2021-12-02	2022-04-01
YS/T 987-2021	氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用	现行	2021-12-02	2022-04-01
GB/T 41153-2021	碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法	现行	2021-12-31	2022-07-01
GB/T 24581-2022	硅单晶中III、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法	现行	2022-03-09	2022-10-01