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L95 电子工业生产设备综合
L96 表面防护设备
L97 加工专用设备
L98 检验专用设备
L99 其他生产设备
L97 加工专用设备
L97 加工专用设备
收录
93
项
全部状态
现行
即将实施
废止
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标准号
标准名称
状态
发布日期
↕
实施日期
↕
T/WLJC 57-2019
晶片精密研磨盘
现行
2019-04-22
2019-04-22
T/WLJC 58-2019
晶片精密研磨盘用修正轮
现行
2019-04-22
2019-04-22
T/WLJC 59-2019
石英晶片倒边波形筒
现行
2019-04-22
2019-04-22
CB 30034-2018
军工大数据系统通用要求
现行
2018-12-28
2019-03-01
DB34/T 2314-2015
数控加工中心热变形检验条件和评定
已废止
2015-02-03
2015-03-03
DB44/T 1179-2013
印制电路板钢网印刷机
已废止
2013-08-24
2013-11-24
GB/T 15862-2012
离子注入机通用规范
现行
2012-11-05
2013-02-15
GB/T 15861-2012
离子束蚀刻机通用规范
现行
2012-11-05
2013-02-15
SJ/T 211.6-1999
电子工业专用设备设计文件 第6部分:设计文件的更改
现行
1999-08-26
1999-12-01
SJ/T 11215-1999
电子元件自动编带机通用规范
已废止
1999-08-26
1999-12-01
SJ/T 11181-1998
净化涂胶台通用规范
已废止
1998-03-11
1998-05-01
SJ/T 11185-1998
蒸发镀膜设备通用规范
现行
1998-03-11
1998-05-01
SJ/T 11183-1998
匀胶设备通用规范
现行
1998-03-11
1998-05-01
SJ/T 11182-1998
磁性材料湿压成型设备通用规范
现行
1998-03-11
1998-05-01
SJ/T 11184-1998
显影设备通用规范
现行
1998-03-11
1998-05-01
GB/T 16878-1997
用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
现行
1997-06-20
1998-03-01
GB/T 16880-1997
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
现行
1997-06-20
1998-03-01
GB/T 16879-1997
掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
现行
1997-06-20
1998-03-01
GB/T 15872-1995
半导体设备电源接口
已废止
1995-12-22
1996-08-01
GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件
已废止
1995-12-22
1996-08-01
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