H17 半金属及半导体材料分析方法

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
YS/T 1107-2016	羧乙基锗倍半氧化物化学分析方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
YS/T 1165-2016	高纯四氯化锗中铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2016-07-11	2017-01-01
GB/T 35309-2017	用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程	现行	2017-12-29	2018-07-01
GB/T 1557-2018	硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法	现行	2018-09-17	2019-06-01
GB/T 4060-2018	硅多晶真空区熔基硼检验方法	现行	2018-09-17	2019-06-01
YS/T 37.2-2018	高纯二氧化锗化学分析方法钼蓝分光光度法测定硅量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.3-2018	高纯二氧化锗化学分析方法石墨炉原子吸收光谱法测定砷量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.1-2018	高纯二氧化锗化学分析方法硝酸银比浊法测定氯量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 1290-2018	多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.5-2018	高纯二氧化锗化学分析方法石墨炉原子吸收光谱法测定铁量	现行	2018-10-22	2019-04-01
YS/T 37.4-2018	高纯二氧化锗化学分析方法电感耦合等离子体质谱法测定镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷量	现行	2018-10-22	2019-04-01
GB/T 37211.1-2018	金属锗化学分析方法第1部分：砷含量的测定砷斑法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 37049-2018	电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2018-12-28	2019-04-01
GB/T 37211.2-2018	金属锗化学分析方法第2部分：铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定电感耦合等离子体质谱法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 4059-2018	硅多晶气氛区熔基磷检验方法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 37385-2019	硅中氯离子含量的测定离子色谱法	现行	2019-03-25	2020-02-01
YS/T 1301-2019	氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定气相色谱质谱联用法	现行	2019-08-02	2020-01-01
YS/T 1300-2019	氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法	现行	2019-08-02	2020-01-01
GB/T 14849.3-2020	工业硅化学分析方法第3部分：钙含量的测定	现行	2020-03-06	2021-02-01
GB/T 14849.1-2020	工业硅化学分析方法第1部分：铁含量的测定	现行	2020-03-06	2021-02-01