L95 电子工业生产设备综合

收录 50 项

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
DB13/T 6237-2025	引线键合台超声单元在线调校一般要求	现行	2025-12-16	2026-01-16
SJ/T 12024-2025	半导体设备集成电路制造用离子注入机测试方法	现行	2025-09-09	2026-03-01
SJ/T 12023-2025	半导体设备集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法	现行	2025-09-09	2026-03-01
T/ZJCX 0049-2024	碳化硅衬底激光剥离设备	现行	2024-12-24	2024-12-25
T/ZSA 224-2024	半导体设备前端模块	现行	2024-04-12	2024-04-13
T/CPIA 0059-2024	晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备	现行	2024-03-10	2024-03-15
SJ/T 11889-2023	锂离子电池用辊压机	现行	2023-05-22	2023-08-01
SJ/T 31411-1994	换热器完好要求和检查评定方法	现行	2023-01-23	2023-01-23
SJ/T 11183-2022	匀胶设备通用规范	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11823-2022	集成电路塑封油压机	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11829.1-2022	晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式 PECVD 设备	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11830-2022	晶体硅光伏电池智能制造数据采集指南	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11829.2-2022	晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式 PECVD 设备	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11855-2022	光伏用紫外老化试验箱辐照性能测试方法	现行	2022-10-20	2023-01-01
GB/T 41213-2021	集成电路用全自动装片机	现行	2021-12-31	2022-07-01
GB/T 40577-2021	集成电路制造设备术语	现行	2021-10-11	2022-05-01
SJ/T 11775-2021	半导体材料多线切割机	现行	2021-03-05	2021-06-01
T/ZZB 2085-2021	重力式集成电路分选机	现行	2021-03-01	2021-03-31
SJ/T 11762-2020	半导体设备制造信息标识要求	现行	2020-12-09	2021-04-01
SJ/T 11761-2020	200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范	现行	2020-12-09	2021-04-01