L97 加工专用设备

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
SJ/T 10519.22-1994	塑料注射模零件定位圈	已废止	1994-04-11	1994-10-01
SJ/T 10519.10-1994	塑料注射模零件圆锥定位件	已废止	1994-04-11	1994-10-01
SJ/T 10515.3-1994	塑封模具结构定位结构	现行	1994-04-11	1994-10-01
SJ/T 10519.31-1994	塑料注射模零件管接头	已废止	1994-04-11	1994-10-01
SJ/T 10519.30-1994	塑料注射模零件喷流管	已废止	1994-04-11	1994-10-01
SJ/T 10519.11-1994	塑料注射模零件顶杆	已废止	1994-04-11	1994-10-01
SJ/T 10519.16-1994	塑料注射模零件斜导柱	已废止	1994-04-11	1994-10-01
GB/T 15394-1994	多探针测试台通用技术条件	现行	1994-12-28	1995-08-01
SJ/T 10671-1995	精密丝网印刷机通用规范	现行	1995-08-18	1996-01-01
GB/T 15872-1995	半导体设备电源接口	已废止	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 15861-1995	离子束蚀刻机通用技术条件	已废止	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 15862-1995	离子注入机通用技术条件	已废止	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 15873-1995	半导体设施接口技术文件编写导则	现行	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 15870-1995	硬面光掩模用铬薄膜	现行	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 15871-1995	硬面光掩模基板	现行	1995-12-22	1996-08-01
GB/T 16878-1997	用于集成电路制造技术的检测图形单元规范	现行	1997-06-20	1998-03-01
GB/T 16880-1997	光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则	现行	1997-06-20	1998-03-01
GB/T 16879-1997	掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则	现行	1997-06-20	1998-03-01
SJ/T 11181-1998	净化涂胶台通用规范	已废止	1998-03-11	1998-05-01
SJ/T 11185-1998	蒸发镀膜设备通用规范	现行	1998-03-11	1998-05-01