H83 化合物半导体材料

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
SJ/T 11504-2015	碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11503-2015	碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11502-2015	碳化硅单晶抛光片规范	已废止	2015-04-30	2015-10-01
SJ/T 11501-2015	碳化硅单晶晶型的测试方法	现行	2015-04-30	2015-10-01
GB/T 30656-2014	碳化硅单晶抛光片	已废止	2014-12-31	2015-09-01
GB/T 30652-2014	硅外延用三氯氢硅	已废止	2014-12-31	2015-09-01
GB/T 31092-2014	蓝宝石单晶晶锭	已废止	2014-12-22	2015-09-01
YS/T 988-2014	羧乙基锗倍半氧化物	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 978-2014	单晶炉碳_碳复合材料导流筒	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 977-2014	单晶炉碳_碳复合材料保温筒	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 979-2014	高纯三氧化二镓	现行	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 982-2014	氢化炉碳_碳复合材料U形发热体	现行	2014-10-14	2015-04-01
SJ/T 11470-2014	发光二极管外延片	现行	2014-10-14	2015-04-01
SJ/T 11471-2014	发光二极管外延片测试方法	现行	2014-10-14	2015-04-01
GB/T 30856-2014	LED外延芯片用砷化镓衬底	已废止	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 30866-2014	碳化硅单晶片直径测试方法	已废止	2014-07-24	2015-02-01
GB/T 30858-2014	蓝宝石单晶衬底抛光片	已废止	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 30868-2014	碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法	已废止	2014-07-24	2015-02-01
GB/T 30855-2014	LED外延芯片用磷化镓衬底	现行	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 30867-2014	碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法	已废止	2014-07-24	2015-02-01