29.045 半导体材料

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 30866-2014	碳化硅单晶片直径测试方法	已废止	2014-07-24	2015-02-01
GB/T 30858-2014	蓝宝石单晶衬底抛光片	已废止	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 30868-2014	碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法	已废止	2014-07-24	2015-02-01
GB/T 30855-2014	LED外延芯片用磷化镓衬底	现行	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 30861-2014	太阳能电池用锗衬底片	现行	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 30867-2014	碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法	已废止	2014-07-24	2015-02-01
GB/T 30854-2014	LED发光用氮化镓基外延片	现行	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 30453-2013	硅材料原生缺陷图谱	现行	2013-12-31	2014-10-01
GB/T 14863-2013	用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法	已废止	2013-12-31	2014-08-15
GB/T 29850-2013	光伏电池用硅材料补偿度测量方法	现行	2013-11-12	2014-04-15
GB/T 29852-2013	光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法	现行	2013-11-12	2014-04-15
GB/T 29851-2013	光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法	现行	2013-11-12	2014-04-15
GB/T 29849-2013	光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法	现行	2013-11-12	2014-04-15
DB65/T 3486-2013	太阳能级多晶硅块红外探伤检测方法	已废止	2013-10-20	2013-12-01
DB65/T 3485-2013	太阳能级多晶硅块少数载流子寿命测量方法	已废止	2013-09-20	2013-12-01
GB/T 29504-2013	300mm 硅单晶	现行	2013-05-09	2014-02-01
GB/T 29505-2013	硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法	现行	2013-05-09	2014-02-01
GB/T 29508-2013	300mm 硅单晶切割片和磨削片	现行	2013-05-09	2014-02-01
GB/T 29506-2013	300mm 硅单晶抛光片	现行	2013-05-09	2014-02-01
GB/T 29507-2013	硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法	现行	2013-05-09	2014-02-01