31.200 集成电路、微电子学

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
SJ/T 10741-2000	半导体集成电路 CMOS电路测试方法的基本原理	现行	2000-12-28	2001-03-01
GB/T 5965-2000	半导体器件集成电路	现行	2000-01-03	2000-07-01
GB/T 17940-2000	半导体器件集成电路第3部分：模拟集成电路	现行	2000-01-03	2000-07-01
GB/T 17865-1999	焦深与最佳聚焦的测量规范	现行	1999-09-13	2000-06-01
GB/T 17866-1999	掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则	现行	1999-09-13	2000-06-01
GB/T 17864-1999	关键尺寸(CD)计量方法	现行	1999-09-13	2000-06-01
GB/T 9424-1998	半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路第五篇 CMOS数字集成电路4000B和4000UB系列空白详细规范	现行	1998-11-17	1999-06-01
GB/T 17574-1998	半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路	现行	1998-11-17	1999-06-01
GB/T 17572-1998	半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路第四篇 CMOS数字集成电路 4000B和4000UB系列族规范	现行	1998-11-17	1999-06-01
SJ 51420/2-1998	半导体集成电路F型陶瓷扁平外壳详细规范	现行	1998-03-11	1998-05-01
GB/T 17023-1997	半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路第二篇 HCMOS数字集成电路54 7HC、54 74HCT、54 74HCU系列族规范	现行	1997-10-07	1998-09-01
GB/T 17024-1997	半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路第三篇 HCMOS数字集成电路54/74HC、54/74HCT、54/74HCU系列空白详细规范	现行	1997-10-07	1998-09-01
GB/T 16878-1997	用于集成电路制造技术的检测图形单元规范	现行	1997-06-20	1998-03-01
GB/T 16526-1996	封装引线间电容和引线负载电容测试方法	现行	1996-09-09	1997-05-01
GB/T 16523-1996	圆形石英玻璃光掩模基板规范	现行	1996-09-09	1997-05-01
GB/T 16527-1996	硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范	现行	1996-09-09	1997-05-01
GB/T 16524-1996	光掩模对准标记规范	现行	1996-09-09	1997-05-01
GB/T 6798-1996	半导体集成电路电压比较器测试方法的基本原理	现行	1996-07-09	1997-01-01
GB/T 16465-1996	膜集成电路和混合膜集成电路分规范(采用能力批准程序)	现行	1996-07-09	1997-01-01
GB/T 16464-1996	半导体器件集成电路第1部分：总则	现行	1996-07-09	1997-01-01