H17 半金属及半导体材料分析方法

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 14849.3-1993	工业硅化学分析方法钙量的测定	已废止	1993-12-30	1994-09-01
GB/T 14849.2-1993	工业硅化学分析方法铬天青-S分光光度法测定铝量	已废止	1993-12-30	1994-09-01
GB/T 4700.5-1998	硅钙合金化学分析方法红外线吸收法测定碳量	已废止	1998-12-07	1999-07-01
GB/T 4700.4-1998	硅钙合金化学分析方法磷钼蓝分光光度法测定磷量	已废止	1998-12-07	1999-07-01
GB/T 4700.7-1998	硅钙合金化学分析方法红外线吸收法和燃烧碘酸钾滴定法测定硫量	已废止	1998-12-07	1999-07-01
GB/T 19921-2005	硅抛光片表面颗粒测试方法	已废止	2005-09-19	2006-04-01
GB/T 8760-2006	砷化镓单晶位错密度的测量方法	已废止	2006-07-18	2006-11-01
GB/T 1557-2006	硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法	已废止	2006-07-18	2006-11-01
GB/T 5252-2006	锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法	已废止	2006-07-18	2006-11-01
GB/T 4326-2006	非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法	已废止	2006-07-18	2006-11-01
GB/T 4060-2007	硅多晶真空区熔基硼检验方法	已废止	2007-09-11	2008-02-01
GB/T 11073-2007	硅片径向电阻率变化的测量方法	已废止	2007-09-11	2008-02-01
GB/T 4059-2007	硅多晶气氛区熔基磷检验方法	已废止	2007-09-11	2008-02-01
GB/T 14849.4-2008	工业硅化学分析方法第4部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法测定元素含量（内容不全）	已废止	2008-06-09	2008-12-01
YS/T 983-2014	多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法	已废止	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 981.1-2014	高纯铟化学分析方法镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、锡、铊、铅的测定高质量分辨率辉光放电质谱法	已废止	2014-10-14	2015-04-01
YS/T 987-2014	氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定	已废止	2014-10-14	2015-04-01
DB53/T 728-2015	锌物料中铟含量的测定原子吸收分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
DB53/T 729-2015	锌物料中锗含量的测定分光光度法	已废止	2015-11-10	2016-02-01
GB/T 24578-2015	硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法	已废止	2015-12-10	2017-01-01