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29.045 半导体材料

收录 292 项
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标准号标准名称状态发布日期 实施日期
GB/T 43612-2023碳化硅晶体材料缺陷图谱现行2023-12-282024-07-01
YS/T 1655-2023化学气相沉积硫化锌晶体现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1653-2023氮化镓衬底片现行2023-12-202024-07-01
T/QGCML 2024-2023掺镓硅片技术生产管理办法现行2023-11-032023-11-24
T/CZSBDTHYXH 001-2023半导体晶圆缺陷自动光学检测设备现行2023-08-082023-08-09
GB/T 30652-2023硅外延用三氯氢硅现行2023-08-062024-03-01
GB/T 35307-2023流化床法颗粒硅现行2023-08-062024-03-01
T/CASAS 032-2023碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法现行2023-06-192023-06-19
T/CASME XXXX-2023半导体用硅环技术要求现行2023-05-202023-05-20
GB/T 30656-2023碳化硅单晶抛光片现行2023-03-172023-10-01
GB/T 31092-2022蓝宝石单晶晶棒现行2022-12-302023-07-01
GB/T 12963-2022电子级多晶硅现行2022-12-302023-07-01
T/ZZB 2833-2022高压MOSFET用200 mm硅外延片现行2022-12-082022-12-31
T/NXCL 015-2022硅部件用柱状多晶硅现行2022-12-022022-12-02
T/NXCL 016-2022200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片现行2022-12-022022-12-02
T/NXCL 017-2022300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片现行2022-12-022022-12-02
SJ/T 11864-2022半绝缘型碳化硅单晶衬底现行2022-10-202023-01-01
SJ/T 11865-2022功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底现行2022-10-202023-01-01
YS/T 1590-2022多晶硅行业绿色工厂评价要求现行2022-09-302023-04-01
GB/T 41652-2022刻蚀机用硅电极及硅环现行2022-07-112023-02-01

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