H80 半金属与半导体材料综合

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 6616-2009	半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 24581-2009	低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 14264-2009	半导体材料术语	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 24582-2009	酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 24579-2009	酸浸取原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 1554-2009	硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 24578-2009	硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 6624-2009	硅抛光片表面质量目测检验方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 14139-2009	硅外延片	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 14141-2009	硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 1558-2009	硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 13388-2009	硅片参考面结晶学取向X射线测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 1555-2009	半导体单晶晶向测定方法	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 6617-2009	硅片电阻率测定扩展电阻探针法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 6619-2009	硅片弯曲度测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 24576-2009	高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 4058-2009	硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 1551-2009	硅单晶电阻率测定方法	已废止	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 24574-2009	硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 14146-2009	硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法	已废止	2009-10-30	2010-06-01