L95 电子工业生产设备综合

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标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 29845-2013	半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则	现行	2013-11-12	2014-04-15
GB/T 30116-2013	半导体生产设施电磁兼容性要求	现行	2013-12-17	2014-04-15
SJ/T 10479-2016	自动砂轮划片机	现行	2016-01-15	2016-06-01
SJ/T 11576-2016	喷雾式涂覆设备通用规范	现行	2016-01-15	2016-06-01
SJ/T 11566-2016	集成电路自动冲切成型设备	现行	2016-01-15	2016-06-01
SN/T 3480.4-2016	进口电子电工行业成套设备检验技术要求第4部分：半导体封装测试设备	现行	2016-08-23	2017-03-01
GB/T 36646-2018	制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备	现行	2018-09-17	2019-01-01
T/SZZX 004-2019	手机保护套	现行	2019-03-15	2019-03-30
GB/T 37466-2019	氮化镓激光剥离设备	现行	2019-06-04	2019-10-01
SJ/T 11762-2020	半导体设备制造信息标识要求	现行	2020-12-09	2021-04-01
SJ/T 11761-2020	200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范	现行	2020-12-09	2021-04-01
SJ/T 11763-2020	半导体制造设备人机界面规范	现行	2020-12-09	2021-04-01
T/ZZB 2085-2021	重力式集成电路分选机	现行	2021-03-01	2021-03-31
SJ/T 11775-2021	半导体材料多线切割机	现行	2021-03-05	2021-06-01
GB/T 40577-2021	集成电路制造设备术语	现行	2021-10-11	2022-05-01
GB/T 41213-2021	集成电路用全自动装片机	现行	2021-12-31	2022-07-01
SJ/T 11183-2022	匀胶设备通用规范	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11823-2022	集成电路塑封油压机	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11829.1-2022	晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式 PECVD 设备	现行	2022-10-20	2023-01-01
SJ/T 11830-2022	晶体硅光伏电池智能制造数据采集指南	现行	2022-10-20	2023-01-01